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本期受访者:
宋丛薇，碧通股份有限公司董事长
“二手设备不能完全替代先进设备。从2021年开始，我们就‘壮士断腕’，致力于国产设备的研发和推广。”
▍个人介绍
宋上海比通半导体能源科技有限公司董事长，1991年至1993年任富士通个人电脑公司工艺工程师，1993年至2006年任全球最大半导体设备制造商之一的蚀刻产品部、CMP产品部、全球技术服务部商务总监。2006年2月回国，创办北京海威信仪器，任执行副总裁。2008年11月，在上海张江创办碧通，任碧通董事长兼总经理。
▍第一标签
海归创业者专注于国产半导体薄膜沉积设备的稳步发展和升级
▍公司简介
必通股份成立于2008年，是由归国留学人员创办的集R&D、生产、销售为一体的高端国产薄膜沉积设备企业。2018年以来，必通股份确立了自主研发国产半导体薄膜设备的发展目标和技术路径。目前，必通股份的CVD和PVD产品已陆续进入国内晶圆厂，并完成产业化验证。是国内为数不多能提供国产半导体设备的企业。
科技创新板日报9月15日电(记者)2006年从硅谷归来的宋见证了全球半导体设备的发展。2013年创办必通公司，从设备改造起家，逐渐成长为国内半导体薄膜沉积设备的后起之秀。
碧通的股份制业务转向国产设备研发的契机是什么？薄膜设备的创新需要什么样的自我造血能力？近日，科技创新板报记者就这些问题采访了碧通股份董事长宋。
谈玩法:差异化创新赋能电影器材行业发展
薄膜沉积设备、光刻设备和刻蚀设备是芯片制造的三大核心设备，决定了芯片制造技术的先进程度。薄膜沉积设备广泛应用于芯片制造过程中功能材料的沉积，因此有巨大的市场需求。
拓晶科技在2023年半年报中引用semi的数据写道，2022年薄膜沉积设备全球市场规模达到229亿美元。考虑到中国大陆半导体制造设备的销售额约占全球市场的26%，2022年中国大陆薄膜沉积设备的市场规模约为60亿美元，市场空间广阔。
作为后起之秀，必通的发展定位是在薄膜设备领域(薄膜气相沉积设备PVD、CVD、ALD)做“大”和“精”。然而，为了抢占市场份额，必通不得不面对应用材料、LAM、TEL和ASML等国外设备巨头的竞争，以及北方华创、拓晶科技等国内强大竞争对手的挑战。
宋认为:“电影设备市场虽然潜力巨大，但必须经过客户验证，产业化才能成功。客户通常更熟悉进口设备，而国产设备需要克服客户的顾虑。”
他强调，虽然“差异化创新”是成功的关键，但“落地”更重要，创新的可行性和优势需要通过实验室数据来证明。而且要有一支国际厂商训练有素、经验丰富的团队。作为国内较早的海归创业团队之一，这样的人才正是必通股份所拥有的。
提到比通“差异化创新”的最佳案例，宋介绍了比通CVD差异化的核心创始人之一金博士。他的全球发明专利“梁潇旋压”是基于CVD和PVD反应室和磁控溅射室的成功应用。“这项技术已经在碧通股份的很多产品上使用了”。
碧通股份自主研发的旋转技术是其薄膜沉积设备的核心创新和优势。传统的加热技术在薄膜沉积过程中通常是静态的，其主要作用是提供恒定的温度。相比之下，比通股份的技术采用旋转的方式，让衬底在360度内旋转，可以更均匀地控制薄膜的沉积，而不仅仅是提供温度。“梁潇旋转”的创新解决了行业内薄膜均匀性的关键问题，碧通股份增强了在薄膜沉积领域的竞争优势。
谈及公司未来产品的占比，宋表示，电影设备市场在不同的技术节点下占比不同。在28 nm工艺中，PVD比CVD占比小，在CVD中，PECVD比SACVD占比大。自14纳米工艺以来，ALD的应用越来越多。未来，随着工艺的进一步推进，ALD的市场份额可能会增加，尤其是在5 nm和3 nm工艺上，ALD有望取代CVD和PVD。在此基础上，他表示，未来在对标薄膜设备的基础上，PVD的比例规划也将发生变化。
此外，宋还提到了另一个趋势:“半导体设备制造正从单一的设备制造向集成发展转变，设备制造向集成发展，这就要求设备制造商集成多种先进技术(如CVD、PVD、ALD等。)在一个平台上，以满足客户对新工艺和新设备的需求。"
谈业务:从服务领域到国产设备研发
宋丛薇于2006年从硅谷回到中国。他的第一次和第二次创业专注于国内半导体设备。第一次创业后，他于2008年从北京搬到上海张江，开始了新的事业。
宋告诉《科技创新板日报》记者:“2008年成立初期，碧通公司由于资金紧张，很难与中威公司、北方华创、拓晶科技等目标明确、资金充足的公司竞争，只好从设备服务行业做起。”
2013年，必通股份涉足设备改造领域。第一个翻新设备是为SMIC提供的8英寸PECVD设备。得益于服务和改造业务的盈利，碧通团队熬过了艰难的前期，之后逐渐转向设备自主研发的道路。
“二手设备只是国家半导体产业的辅助手段，并不能完全替代一些先进设备。”宋介绍，考虑到长远发展，公司做出了壮士断腕的决定。从2021年开始，放弃国产二手设备的市场份额和高额利润，致力于国产设备的研发和推广。据悉，2023年，必通股份将不再做二手装修。目前国内设备业务发展良好，市场份额逐渐增加。
谈及公司目前的产品结构，宋表示，现在必通的国产设备涵盖了多种类型，包括6、8英寸的，12英寸的CVD(包括SACVD、PECVD)，以及12英寸、6、8英寸的。公司主要产品结构为6英寸和8英寸PVD，主要面向第三代半导体和化合物半导体市场。此外，比通还提供12英寸PVD、CAD和LED设备，以满足不同领域的需求，包括逻辑、电源和存储。
谈前景:走出低谷后，行业将迎来三个黄金年。
受技术快速迭代、下游应用不断创新、终端需求波动等多重因素影响，半导体行业发展出现周期性波动，但总体增长趋势没有改变。
据SEMI统计，2022年，中国大陆半导体设备销售额达283亿美元，连续第三年成为全球最大的半导体设备市场。在当前全球半导体行业销售放缓的情况下，预计2023年中国大陆半导体设备销售额将降至225亿美元，2024年将恢复增长，预计增长233亿美元。
作为资深半导体行业人士，宋也看好国内半导体行业的未来发展。他认为，半导体行业的低迷是相对的，尤其是考虑到中国政府对半导体芯片行业的重视和持续支持。谈及行业周期，他预测2024-2026年半导体行业将迎来黄金三年。
虽然碧通股份目前还没有涉足光刻设备，但宋认为，在目前的设备条件下，中国仍然具备推动芯片工艺升级的技术实力。
除了肯定中国半导体产业良好的发展势头，宋还向《科技创新板日报》记者透露，必通股份正在积极筹备在科技创新板上市，计划不断拓展薄膜设备业务，进一步研发三大核心设备。目前碧通股份具备明年申报的条件。
(科技创新板日报记者朱令)”